利用激光可以进行膜层处理，清除膜层、污染物等。氧化层对激光的吸收性非常好，因此可被气化进而有效清除，氧化层在脉冲激光束产生的微小的等离子体爆裂下迅速气化，并从基材表面脱离，最终达到表面清洁、无氧化层残留的清洗目的。

激光清洗除了可以去除基材表面的氧化物、镀膜，还可以有效的去除基材表面的覆膜，例如CD碟片表面的覆膜。